Pagina 17 van: Metaal Magazine 6 – 2015
j a a r g a n g 5 3 | w w w . m e t a a l m a g a z i n e . n l | 6 – 2 0 1 5 17
T O E L E V E R E N E N U I T B E S T E D E N
wel met een nauwkeurigheid tot op de nanome-
ter. Alsof je in een auto met 800 kilometer per
seconde rijdt – van Amsterdam naar Berlijn in een
seconde – , terwijl je de wielen al die tijd binnen
een millimeter van de witte lijn op de weg moet
houden. Of zoals een van onze Amerikaanse col-
lega’s het verwoordt: we bewegen ons op de de-
cimalen achter de komma, waar anderen afron-
den”.
Vergaand
Van de 864 toeleveranciers die machineonderde-
len en technologie leveren, merkt ASML er 56 aan
als kritisch voor het bedrijf. ASML streeft ernaar
om dit aandeel te verminderen door een beperkt
aantal partners te kiezen met vergaande verant-
woordelijkheden. “We hebben behoefte aan toe-
leveranciers die ons helpen deze prestaties te be-
reiken. In het verleden ontwierpen we zelf vaak
delen van het ontwerp en gaven deze ontwerpen
dan aan een gecontracteerde fabrikant (‘build to
print’)”, vertelt Mika. “In toenemende mate zoe-
ken we echter toeleveranciers die verantwoorde-
lijkheid nemen voor een complete oplossing. Dit
stelt ons in staat om ons te concentreren op waar
we goed in zijn. Onze Duitse partners zijn hier
meer aan gewend dan de Nederlandse. Zij nemen
de hele verantwoordelijkheid op zich voor de
ontwikkeling en productie. In Nederland zie je
vaker een splitsing: sommige bedrijven kunnen
ontwerpen, anderen produceren. Als er echter
iets fout gaat, zegt de ontwerper dat het aan de
productie ligt en de fabrikant dat het ontwerp
slecht was. En wij moeten zien te achterhalen wie
gelijk heeft. We willen niet tussen de ontwerpers
en fabrikanten inzitten. We hebben daarom
meer ondernemers nodig die willen opklimmen
in de waardeketen, die investeren in R&D en die
ontwerp en productie samenvoegen. Dat is welis-
waar complexer maar de marges zijn ook sub-
stantieel hoger”.
“VDL is een goed voorbeeld van een bedrijf dat
dat doet”, aldus Mika. Vorig jaar heeft de high-
tech unit VDL ETG de volledige verantwoordelijk-
heid verkregen over het ontwerp en productie
van de wafer handling voor alle machines (zie
kader). Voorheen was VDL alleen verantwoorde-
lijk voor de productie en het onderhoud, terwijl
ASML zelf het ontwerp en de ontwikkeling voor
zijn rekening nam. VDL is al leverancier sinds de
start van ASML, onder andere voor de wafer
handler en de wafer stage. “We komen uit de-
zelfde stal”, memoreert Geert Jakobs, directeur
bij VDL ETG in Eindhoven. “Wij waren de huisle-
verancier van machines bij Philips. We denken op
dezelfde manier en dat maakt het wederzijds
vertrouwen groot. Dat ASML nu het ontwerp van
de wafer handlers uitbesteedt, is niettemin uniek.
Voor zover ik weet is het voor het eerst dat ASML
een ontwerp dat ze eerst in eigen huis deden, aan
een andere partij gunt. Er zijn wel Duitse leveran-
ciers als Zeiss en Trumpf die zelf het ontwerp voor
hun rekening nemen maar die deden dat al van
meet af aan”.
Huwelijk
Die overdracht is dan ook een overhaaste beslis-
sing noch een proces dat van vandaag op morgen
gerealiseerd is. “We werken met toeleveranciers
op basis van wederzijdse transparantie en streven
naar langdurige relaties die in het voordeel zijn
van beide partijen”, aldus Mika. “Met hun logis-
tiek en de buffercapaciteit werken zij ook precies
in hetzelfde systeem als wij. De wederzijdse trans-
parantie is een sleutelfactor. Niet alleen om de
meest geavanceerde producten te kunnen ont-
werpen, maar ook om risico’s te beheersen. In een
complex systeem zijn er maar weinig onbelang-
rijke delen. Aan een partner de verantwoordelijk-
heid over te laten voor een deel van een systeem
vereist vertrouwen; vertrouwen dat ze de techno-
logische capaciteiten hebben, dat ze betrouwbaar
zijn en dat hun hele proces transparant is”.
“Natuurlijk moet je kennis en kunde tonen en een
stabiele partij zijn maar het staat of valt met ver-
trouwen”, bevestigt Jakobs. “Het is toch een soort
huwelijk dat je aangaat. Het is een avontuur; niet
alles is tot in de puntjes in te kleuren. Ook voor ons
is het een strategische keuze om zo’n partnerschap
aan te gaan en niet meer in transacties te denken.
Je moet open staan voor samenwerking en kennis
delen. Zo’n proces kost jaren. Het is vooral een uit-
daging om in de pas te lopen met de technologi-
sche roadmap die ASML heeft uitgestippeld. Dan
gaat het zowel om de technische innovaties als om
het vergroten van de efficiency en het verkorten
van de doorloopcyclus. Je kunt niet denken: nu
maar even niet. Er is geen weg terug”.
Ook de overdracht van werkzaamheden neemt
minstens een jaar in beslag. “Het kost veel tijd,
geld en energie”, vervolgt Jakobs. “Mensen van
ASML zijn bij ons gedetacheerd en wij moeten
met de regelmaat van de klok op stel en sprong
naar Azië als daar een machine in storing valt. Bij
ASML verdwijnt de kennis en dat is wel even slik-
ken. Dat gaat met vallen en opstaan. Zoals je een
kind dat zijn eerste stapjes doet, wilt behoeden
dat het valt. Maar hij zal ongetwijfeld wel eens
met een bloedende knie thuiskomen. ASML kijkt
daarom voortdurend over onze schouders mee”.
Jakobs ziet er naar uit: “Omdat onze focus nu he-
lemaal op dit proces ligt en de maakkennis bin-
nen hetzelfde bedrijf beschikbaar is, kunnen onze
200 engineers betere ontwerpen maken, kunnen
we sneller innoveren, gaat de efficiency omhoog
en doen we ideeën op uit het veld. Daar profite-
ren niet alleen wij van, maar ook ASML en andere
klanten voor wie de ‘handling’ van fragiele sub-
straten essentieel is, zoals de LED, medische en
solarindustrie”. <<<
>>>
Lithografietechnologie
ASML bouwt geavanceerde lithografiemachines, die computer- en geheugenchips belichten met fijnmazige patronen. Een dunne straal licht print
microscopisch kleine lijntjes op een halfgeleider, aangebracht op een siliciumplaat of wafer. Door laag voor laag zulke lijnen te maken ontstaan
elektronische schakelingen, de basis van elke chip. De nauwkeurigheid in het lithografieproces bepaalt het haalbare formaat van een chip.
Hoe gedetailleerder ASML kan werken des te meer schakelingen op een chip passen. Dankzij deze schaalverkleining tot op enkele tientallen
nanometers kunnen consumenten en bedrijven elk jaar meer opslaggeheugen en rekenkracht kopen voor hetzelfde geld. Vooralsnog houdt de
Wet van Moore, genoemd naar Gordon Moore, de grondlegger van Intel, stand: wereldwijd weten bedrijven elke anderhalf tot twee jaar het
aantal transistors per chip te verdubbelen. Weliswaar tegen een enorme inspanning, maar toch. De vraag is hoe lang chipfabrikanten zich kunnen
veroorloven om in steeds meer duurdere machines te blijven investeren. Een Twinscan NXT kost toch al gauw 50 miljoen euro. Tien jaar geleden
waren de lithografiekosten geleden 12 procent van de investering van een chipfabrikant – op dit moment is dat al 25 procent.
Om zich aan de wet van Moore te kunnen blijven houden, lijken de technische grenzen bereikt om onder atmosferische omstandigheden te wer-
ken, stelt Geert Jakobs, directeur bij VDL ETG in Eindhoven. De lichtbron die in de NXT machines de wafers belicht (deep ultraviolet) is begrensd
in de breedte, zoals je met een markerstift nu eenmaal geen potloodstreepje kunt zetten.
De nieuwe Twinscan NXE-machines maken gebruik van Extreem UV-licht als lichtbron. Deze lichtbron, die in vacuüm de wafers belicht, is daar
dankzij een korte golflengte tot 10 nanometer, wel toe in staat. Het EUV-licht is afkomstig van een laser die zijn stralen afvuurt op piepkleine
druppeltjes tin. Daarmee worden de elektronen van de tinatomen op een hoger energieniveau gebracht, waarna ze EUV-licht van exact de juiste
golflengte uitzenden. Speciale reflectieve spiegels in de machine concentreren het licht vervolgens op de wafer. De productie van dit speciale
licht is een fysische uitdaging: de tindruppeltjes kunnen uiteenspatten als ze met een hoog energetische laser beschoten worden. De vervuiling
die hierbij optreedt is funest voor de productie.
“Werken onder vacuüm met EUV-licht betekent dat de omgeving nog schoner moeten zijn om te voorkomen dat de lichtbundel tegen een deeltje
botst en uit koers raakt”, legt Jakobs uit. “Er mag zelfs geen miniem restje machineolie achterblijven. Voor het handhaven van de temperatuur
heeft het ook gevolgen. Je kunt in
vacuüm niet met lucht koelen. Dus
hebben we het ontwerp moeten
aanpassen”.
Met deze laatste generatie machines
kan de chipfabrikant lijnen printen
op een chip van circa 20 nanometer
of nog minder. Dat is te vergelijken
met het printen van een complete
roman van 500 pagina’s op 1 centi-
meter van een menselijke haar. In
principe maakt dit het fabricage-
proces goedkoper en verlaagt het
de kosten. Zover is het nog niet. Het
EUV-programma stokte omdat leve-
rancier Cymer niet in staat bleek een
voldoende krachtige lichtbron te
ontwikkelen voor massaproductie.
Daarom heeft ASML in 2013 Cymer
overgenomen. Het volume dat EUV
kan verwerken, 500 wafers per dag
in 2014, haalt het nog niet bij de
4000 van de gebruikelijke machines.
De productie loopt in 2016 op 1500
wafers per dag, belooft ASML. Eind
2014 waren er zeven van deze machi-
nes van meer dan 100 miljoen euro
operationeel, een aantal dat moet
oplopen tot 65 in 2017.
Trumpf
Een van de partners van ASML is Trumpf. Het bedrijf uit Baden-Wurttemberg produceert
laserapparatuur die onmisbaar zijn in lithografiemachines. De versterking van de samenwer-
king is nodig vanwege de enorme technologische uitdagingen’ waarvoor ASLM staat bij de
sprong naar de EUV lithografische machines. Dat gaat niet lukken zonder Trumpf. Trumpf
moet met ASML meedenken en hun R & D afstemmen op de wensen van hun partner uit
Veldhoven. “In een fase waarin experiment, fundamenteel onderzoek en het bouwen van
een eerste machine hand in hand gaan, werken traditionele samenwerkingsmodellen niet
meer. Je zoekt ook niet meer naar meerdere leveranciers maar naar een huwelijk. Daarbij
gaat het om competentie, vertrouwen en openheid. De risico’s en opbrengsten deel je“, aldus
bestuursvoorzitter van ASML Peter Wennink in het FD.
‘’Tegenovergestelde van vertikaal’’
‘’Toeleveranciers die ons helpen’’
14-15-16-17-ASML.indd 17 22-06-15 14:48