Het Delftse TNO Nanolab NL heeft de eerste
Helium-ionenmicroscoop in Europa in gebruik genomen. Helium-ionenmicroscopie,
ontwikkeld door Carl Zeiss SMT, is een nieuwe en uiterst nauwkeurige techniek
voor oppervlaktekarakterisering.
De microscoop maakt het mogelijk het oppervlak van (sub)nanometerstructuren rechtstreeks te bekijken en te analyseren. Het instrument is beschikbaar voor de wetenschappelijke gemeenschap en voor commerciële gebruikers.
TNO en Carl Zeiss SMT werken samen aan de ontwikkeling van schone optische systemen voor de nieuwste generatie wafersteppers van ASML. Deze optieken worden gebruikt voor EUV en immersielithografie. De investering van beide partners in een Helium Ion Microscope maakt metrologie en inspectie voor de volgende stappen in lithografie mogelijk. De SHIM breidt het domein van de huidige Scanning Electron Microscopes (SEM) uit tot het bekijken van (sub)nanometerstructuren.
Scherper beeld
Bij SEM bestaat de primaire bundel uit elektronen. Op nanometerschaal wordt deze bundel wazig doordat hij wordt ‘uitgesmeerd’ over het oppervlak. De nieuwe microscooptechniek SHIM werkt met Heliumionen. Deze zijn veel zwaarder en worden daardoor niet zo snel versmeerd. Dat maakt scherpere beelden mogelijk en geeft gedetailleerde informatie over de samenstelling van de bovenste laag van het monster.
Toepassingen
De informatie op nanometerschaal die SHIM kan leveren is belangrijk voor de materiaalwetenschap en de halfgeleiderindustrie. Voor de productie van geïntegreerde schakelingen en chips is het bijvoorbeeld van vitaal belang om nauwkeurig de afmetingen en vorm van de geschreven structuur te kunnen bepalen. Andere SHIM toepassingen zijn het precies inspecteren van geavanceerde coatings, katalysatordeeltjes en nano-additieven.