100 nm tunnel door etsen met gas • Metaal Magazine Ga naar hoofdinhoud

100 nm tunnel door etsen met gas

Op 22 juni neemt Fraunhofer in Duisburg (D) een bijzondere productie-installatie in gebruik voor het maken van microstructuren. Denk aan structuren met de dikte van een menselijk haar die bijvoorbeeld ingezet worden voor bewegingssensoren voor airbags.

Het bijzondere van het etsprocédé van Fraunhofer is dat het etsen niet geschiedt met vloeistoffen, maar met gassen als HF of XeF2. Bovendien lukt het Fraunhofer om niet alleen in verticale richting te etsen, maar ook om vrijdragende structuren te maken. Lees meer in het bijgevoegde Duitstalige bericht:

 

doc bestand  Die hohe Kunst des Ätzens

 

Installatie Fraunhofer voor etsen microstructuren

De kleine MST-sensoren (Mikrosystemtechnik) hebben een drielaagse opbouw: een substraat, een offerlaag waarin een structuur geëtst wordt en als bovenste laag een functionele laag (foto: Fraunhofer)

 

Geef een antwoord

Het e-mailadres wordt niet gepubliceerd. Vereiste velden zijn gemarkeerd met *

Deze site gebruikt Akismet om spam te verminderen. Bekijk hoe je reactie-gegevens worden verwerkt.

x
Mis niet langer het laatste nieuws

Schrijf u nu in voor onze nieuwsbrief.

Inschrijven