Op 22 juni neemt Fraunhofer in Duisburg (D) een bijzondere productie-installatie in gebruik voor het maken van microstructuren. Denk aan structuren met de dikte van een menselijk haar die bijvoorbeeld ingezet worden voor bewegingssensoren voor airbags.
Het bijzondere van het etsprocédé van Fraunhofer is dat het etsen niet geschiedt met vloeistoffen, maar met gassen als HF of XeF2. Bovendien lukt het Fraunhofer om niet alleen in verticale richting te etsen, maar ook om vrijdragende structuren te maken. Lees meer in het bijgevoegde Duitstalige bericht:
|
Die hohe Kunst des Ätzens |
De kleine MST-sensoren (Mikrosystemtechnik) hebben een drielaagse opbouw: een substraat, een offerlaag waarin een structuur geëtst wordt en als bovenste laag een functionele laag (foto: Fraunhofer)